
四探針電阻率測(cè)試儀/四探針電阻率儀/方阻測(cè)試儀/方阻儀/四探針電阻率測(cè)定儀 型號(hào):TC-KDY-1
四探針電阻率/方阻測(cè)試儀(以下簡(jiǎn)稱電阻率測(cè)試儀)是用來測(cè)量半導(dǎo)體材料(主要是硅單晶、鍺單晶、硅片)電阻率,以及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠方塊電阻的測(cè)量?jī)x器。它主要由電氣測(cè)量部份(簡(jiǎn)稱:主機(jī))、測(cè)試架及四探針頭組成。
本儀器的特點(diǎn)是主機(jī)配置雙數(shù)字表,在測(cè)量電阻率的同時(shí),另一塊數(shù)字表(以萬分之幾的精度)適時(shí)監(jiān)測(cè)全程的電流變化,免除了測(cè)量電流/測(cè)量電阻率的轉(zhuǎn)換,更及時(shí)掌控測(cè)量電流。主機(jī)還提供精度為0.05%的恒流源,使測(cè)量電流高度穩(wěn)定。本機(jī)配有恒流源開關(guān),在測(cè)量某些箔層材料時(shí),可免除探針尖與被測(cè)材料之間接觸火花的發(fā)生,更好地保護(hù)箔膜。儀器配置了本公司的產(chǎn)品:“小游移四探針頭”,探針游移率在0.1~0.2%。保證了儀器測(cè)量電阻率的重復(fù)性和準(zhǔn)確度。本機(jī)如加配HQ-710E數(shù)據(jù)處理器,測(cè)量硅片時(shí)可自動(dòng)進(jìn)行厚度、直徑、探針間距的修正,并計(jì)算、打印出硅片電阻率、徑向電阻率的大百分變化、平均百分變化、徑向電阻率不均習(xí)庋。給測(cè)量帶來很大方便。
2、主機(jī)技術(shù)能數(shù)
(1)測(cè)量范圍:
可測(cè)電阻率:0.0001~19000Ω?cm
可測(cè)方塊電阻:0.001~1900Ω?□
(2)恒流源:
輸出電流:DC 0.001~100mA 五檔連續(xù)可調(diào)
量程:0.001~0.01mA
0.01~0.10mA
0.10~1.0mA
1.0~10mA
10~100mA
恒流精度:各檔均低于±0.05%
(3)直流數(shù)字電壓表:
測(cè)量范圍:0~199.99mV
靈敏度:10μV
基本誤差:±(0.004%讀數(shù)+0.01%滿度)
輸出電源:≥1000ΩM
(4)供電電源:
AC 220V±10% 50/60 Hz 功率:12W
(5)使用環(huán)境:
溫度:23±2℃ 相對(duì)濕度:≤65%
無較強(qiáng)的電場(chǎng)干擾,無強(qiáng)光直接照射
(6)重量、體積:
主機(jī)重量:7.5kg
體積:365×380×160(單位:mm 長(zhǎng)度×寬度×高度)
備注:
等級(jí)測(cè)量時(shí)(測(cè)電阻率),精度<3%
電氣測(cè)量時(shí)(測(cè)電阻),精度在0.3%以內(nèi)
備注:
儀器包括:主機(jī)一臺(tái);測(cè)試架(包括臺(tái)面)一個(gè);四探針頭1個(gè)
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產(chǎn)品名稱:四探針方阻電阻率測(cè)試儀 產(chǎn)品型號(hào): FT-331 |
一. 描述Description:
采用范德堡測(cè)量原理能解決樣品因幾何尺寸、邊界效應(yīng)、探針不等距和機(jī)械游移等外部因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響及誤差,提供通訊接口,PC軟件數(shù)據(jù)處理及數(shù)據(jù)分析.中文或英文語言版本.
二.參照標(biāo)準(zhǔn)standard:
硅片電阻率測(cè)量的標(biāo)準(zhǔn)(ASTM F84)及國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)制造;GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測(cè)定方法》、GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測(cè)定直流四探針法》.
三.適用范圍Applicable scope:
適用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門,是檢驗(yàn)和分析半導(dǎo)體材料質(zhì)量的工具;液晶顯示,自動(dòng)測(cè)量和系數(shù)補(bǔ)償,并帶有溫度補(bǔ)償功能,自動(dòng)轉(zhuǎn)換量程;采用AD芯片控制,恒流輸出,選配:PC軟件,保存和打印數(shù)據(jù),生成報(bào)表
用于:覆蓋膜;導(dǎo)電高分子膜,高、低溫電熱膜;隔熱、導(dǎo)電窗膜 導(dǎo)電(屏蔽)布、裝飾膜、裝飾紙;金屬化標(biāo)簽、合金類箔膜;熔煉、燒結(jié)、濺射、涂覆、涂布層,電阻式、電容式觸屏薄膜;電極涂料,其他半導(dǎo)體材料、薄膜材料方阻測(cè)試等相關(guān)產(chǎn)品
四.型號(hào)及參數(shù)Models and technical parameters
規(guī)格型modelFT-331
1.方塊電阻范圍Sheet resistance 10-5~2×105Ω/□
2.電阻率范圍Resistivity 10-6~2×106Ω-cm
測(cè)試電流范圍
Test current 0.1μA ,1μA,10μA,100μA,1mA,10mA,100mA
4.電流精度 Current accura±0.1%
5.電阻精度Resistance ≤0.3%
6.顯示讀數(shù)display液晶顯示:電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率LCD: resistance. resistivity. sheet resistance. temperature. unit conversion.temperature coefficient. current. voltage. probe shape. probe spacing. thickness. conductivity 7.測(cè)試方式test mode普通單電測(cè)量general single electrical measurement
8.工作電源power輸入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗:<30W
9.誤差errors≤4%(標(biāo)準(zhǔn)樣片結(jié)果 Standard Sample results)
10.選購(gòu)功能choose to buy選購(gòu)1.pc軟件; 選購(gòu)2.方形探頭; 選購(gòu)3.直線形探頭; 選購(gòu)4.測(cè)試平臺(tái);5.標(biāo)準(zhǔn)電阻
1.pc software; 2. square probe; 3. linear probe; 4. test Platform.
11.測(cè)試探頭Test probe探針間距選購(gòu):1mm;2mm;3mm三種規(guī)格; 探針材質(zhì)選購(gòu):碳化鎢針;白鋼針;鍍金磷銅半球形針Optional probe spacing: 1mm;2mm;3mm in three sizes.
Select probe material: tungsten carbide needle. white steel needle. gilded copper hemispherical needles.
聯(lián)系電話:18910554055 18910534055 18611444986
傳真號(hào)碼:010-68467699
移動(dòng)電話:18611444986
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