橢圓偏振北京測厚儀

可用于測量單層非金屬的所有鍍膜的厚度測量。測量范圍：1nm～4000nm 包含主機(jī)一臺，全部USB接口全自動測量。同時測量鍍膜和折射率多種數(shù)據(jù)處理方法軟件。(不包含計算機(jī))
詳細(xì)介紹
o儀器測量精度：在10nm處誤差為±0.5nm；
o光學(xué)中心高度：75㎜； 

橢圓偏振北京測厚儀
o允許樣品尺寸直徑：Φ10~Φ120㎜，厚度≤10㎜；
o外形尺寸：730 x230X 290；
o主機(jī)重量：30kg；測量范圍：1nm～4000nm；
o測量小值：≤1nm；
o鍍膜折射率范圍：1.3 ~ 2.49
o入射角：40°～90°　　誤差≤0.05°；

橢圓偏振北京測厚儀 
o偏振器方位角范圍：0°～180°；
儀器測量精度：在10nm處誤差為±0.5nm； 光學(xué)中心高度：75㎜；
允許樣品尺寸直徑：Φ10~Φ120㎜，厚度≤10㎜；
外形尺寸：730 x230X 290；
主機(jī)重量：30kg；
偏振器步進(jìn)角：0.0375°/步；

橢圓偏振北京測厚儀
本儀器分為光源、接收器、主機(jī)、電子及通訊四部分，外觀參看右圖。
1、　光源：采用波長為632.8nm的氦氖激光光源①其特點(diǎn)是：光強(qiáng)大、光譜純、波長穩(wěn)定性好。
2、　接收器：采用光電倍增管⑤，把光訊號變?yōu)殡娪嵦?，?jīng)放大后輸出至微機(jī)，由微機(jī)選擇出消光位置的角度值。
3、　主機(jī)部分：除以上兩項外，還有起偏組件②，樣品臺③，檢偏組件④。
4、電子及通訊部分⑥：采集光強(qiáng)及對應(yīng)的角度值并傳輸?shù)接嬎銠C(jī)，再接收由計算機(jī)發(fā)出的指令逐步靠近消光點(diǎn)。