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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:自動橢圓偏振測厚儀 北京橢圓偏振測厚儀

  • 產(chǎn)品型號:TPY-2
  • 產(chǎn)品廠商:同德
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
自動橢圓偏振測厚儀 北京橢圓偏振測厚儀 TPY-2型自動橢圓偏振測厚儀采用消光法自動測量薄膜厚度和折射率,具有精度高、靈敏度高以及自動控制等特點。光源采用氦氖激光器,功率穩(wěn)定波長精度高。 自動橢圓偏振測厚儀 北京橢圓偏振測厚儀
詳情介紹:

自動橢圓偏振測厚儀 北京橢圓偏振測厚儀

TPY-2型自動橢圓偏振測厚儀采用消光法自動測量薄膜厚度和折射率,具有精度高、靈敏度高以及自動控制等特點。光源采用氦氖激光器,功率穩(wěn)定波長精度高。 
儀器采用USB接口與電腦連接,配套軟件功能齊全,具有多樣數(shù)據(jù)采集及處理方式,適用于不同用戶的需要。 
規(guī)格與主要技術(shù)指標(biāo): 
測量范圍:       薄膜厚度范圍1nm-4000nm                  折射率范圍:1-10   
測量小示值: ≤1nm                                     入射角:20°- 90°精度≤0.05° 
度盤刻度:       每格1度                                 允許樣品尺寸:φ10-φ140mm,厚度≤16mm 
偏振器步進(jìn)角: 0.014°/步                                偏振器方位角范圍:0°- 180°     
測量膜厚和折射率重復(fù)性精度分別為:0.5nm和0.005 
自動橢圓偏振測厚儀 北京橢圓偏振測厚儀

儀器測量精度:±0.5nm(薄膜厚度在10-100nm時) 
光學(xué)中心高度:80mm   
成套性:主機(jī)、電控系統(tǒng)、USB接口、配套軟件(需配計算機(jī)) 
主機(jī)重量:26kg    外形尺寸:680*390*310mm  

自動橢圓偏振測厚儀 北京橢圓偏振測厚儀

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